Последние разработки в области аппаратного оформления и программного обеспечения рентгеноспектрального микроанализа привели к созданию следующего поколения электронно-зондовых микроанализаторов. Были добавлены новые функции, обеспечивающие простоту и лёгкость управления, которые в совокупности с гарантированными Shimadzu превосходными основными аналитическими характеристиками — высокой чувствительностью, высокой точностью и высоким разрешением — позволили в полной мере реализовать все возможности EPMA.
Достаточно простой для использования новичками, электронно-зондовый микроанализатор EPMA-1720 также поддерживает проведение сложных анализов опытными пользователями.
Угол регистрации рентгеновского излучения 52.5° — важнейшее условие улучшения аналитических характеристик прибора.
Изображение с оптического микроскопа появляется на том же мониторе, что и изображение с электронного микроскопа. Светочувствительность очень высокая.
Просто выберите требуемый ток пучка для быстрой и точной автоматической установки. Система перекрёстного контроля гарантирует, что фокус не смещается при изменении тока пучка.
| Модель | EPMA-1720 | EPMA-1720 |
| Электроннооптическая система | ||
| Источник электронов | W катод | СеВ6 катод (W катод тоже возможен) |
| Разрешение во вторичных электронах | 6 нм | 5 нм |
| Ускоряющее напряжение | от 0,1 кВ до 30 кВ (шаг 0,1 кВ; шаг 10 В при напряжении до 5 кВ) | |
| Ток зонда | от 1 пА до 1 мкА | |
| Увеличение | 40х – 400 000х | |
| Детектор электронов обратного рассеяния | 4-х блочный полупроводниковый детектор | |
| Столик для образца | ||
| Максимальные размеры образца | 100 мм х 100 мм х 50 мм | |
| Максимальная масса образца | 2 кг | |
| Минимальный шаг перемещения образца | по осям X,Y: 0,02 мкм по осиZ: 0,1 мкм | |
| Максимальная скорость перемещения столика | по осям X,Y: 0,02 мкм по осиZ: 0,1 мкм | |
| Система рентгеновских спектрометров | по осям X,Y: 15 мм/с по оси Z: 1 мм/с | |
| Диапазон определяемых элементов | 4Be – 92U | |
| Количество волнодисперсионных спектрометров | от 2 до 5 | |
| Угол выхода (отбора) рентгеновского излучения | 52,5 град | |
| Система вакуумирования | ||
| Уровень вакуума | ||
| Камера анализа | 1,0 х 10-3 Па или меньше | |
| Блок электронной пушки | – | 2,0 х 10-5 Па или меньше |
| Вакуумные насосы | ||
| Основная откачка | 1 диффузионный насос и 1 роторный насос | |
| Предварительная откачка | 1 роторный насос | |
| Откачка электронной пушки | – | 1 ионный насос |
| Датчики вакуума | Датчик Пеннинга, датчик Пирани | |
| Автоматические операции | Управление вакуумом (главная камера, электромагнитные клапаны, камера ввода образца, камера электронной пушки), автоматический обжиг (только EPMA-1720H) | |
| Программы наблюдения | ||
| Функции контроля | Контроль электронно-оптической системы, системы наблюдения, столика для образцов, рентгеновских спектрометров, системы вакуумирования | |
| Автоматические функции | Фокус, коррекция астигматизма, контраст/яркость, нагрев катода, настройки тока зонда | |
